Καουτσούκ υπερφθοροαιθέρα (FFKM)είναι ένα εξαιρετικό στεγανοποιητικό υλικό. Λόγω της ανώτερης απόδοσής του, έχει βρει ευρεία χρήση σε όλο το σύστημα κατασκευής ημιαγωγών. Ένα από τα κύρια αναλώσιμα που απαιτούνται για την παραγωγή ολοκληρωμένων κυκλωμάτων είναι οι δακτύλιοι στεγανοποίησης υπερφθοροαιθέρα.
Τα κύρια μονομερή στο καουτσούκ υπερφθοροαιθέρα είναι το τετραφθοροαιθυλένιο και ο υπερφθοροαλκυλ βινυλαιθέρας, τα οποία συμπολυμερίζονται με μια μικρή ποσότητα τρίτων μονομερών με σημεία βουλκανισμού. Είναι ένα καουτσούκ που δεν περιέχει καθόλου δεσμούς CH. Η περιεκτικότητα σε φθόριο της μοριακής της δομής, η δομή και η περιεκτικότητα σε υπερφθοριωμένο βινυλαιθέρα και η ενέργεια και η ποσότητα των δεσμών σταυροδεσμών στη διαδικασία βουλκανισμού επηρεάζουν την απόδοση της βουλκανισμένης ένωσης και τη θερμοκρασία μετάπτωσης υάλου. Η δομή και τα εξαρτήματα είναι διαφορετικά, όπως και η απόδοσή τους. Τα ακόλουθα είναι τα κύρια χαρακτηριστικά απόδοσης του καουτσούκ υπερφθοροαιθέρα:
1) Φυσικές ιδιότητες: Η πυκνότητα είναι 1.9-2.0g/cm3, οι φυσικές και μηχανικές ιδιότητες είναι παρόμοιες με το φθοριούχο καουτσούκ και το σετ συμπίεσης υψηλής θερμοκρασίας είναι ανώτερο από το φθοριούχο καουτσούκ.
2) Χημική αντοχή: Είναι χημικά ανθεκτικό.
3) Αντίσταση σε υψηλές και χαμηλές θερμοκρασίες: η θερμοκρασία λειτουργίας είναι συνήθως 260290 μοίρες, αλλά μπορεί να χρησιμοποιηθεί κατά διαστήματα στους 316 βαθμούς. Το Tg (θερμοκρασία μετάπτωσης γυαλιού) ορισμένων καουτσούκ υπερφθοροαιθέρα είναι -19 βαθμός .
4) Αντοχή σε ατμό υψηλής θερμοκρασίας.
5) Χαμηλή βροχόπτωση και απελευθέρωση.
6) Αντίσταση στο πλάσμα.
Έχει υψηλή καθαριότητα και χαρακτηριστικά προϊόντος χαμηλής βροχόπτωσης στο περιβάλλον πλάσματος και μπορεί να αντέξει την κρούση στο πλάσμα για μεγάλο χρονικό διάστημα.Η αξιοπιστία των ελαστομερών παρεμβυσμάτων είναι κρίσιμης σημασίας στην κατασκευή ημιαγωγών και το κόστος διακοπής της παραγωγής για την αντικατάσταση των παρεμβυσμάτων είναι εξαιρετικά υψηλό. Οι απαιτήσεις για την καθαριότητα και την καθαρότητα των σφραγίδων είναι εξαιρετικά αυστηρές για την αποφυγή πιθανών κινδύνων. Ταυτόχρονα, οι στεγανοποιήσεις πρέπει να μπορούν να λειτουργούν για μεγάλο χρονικό διάστημα υπό την πίεση υψηλού κενού, διαβρωτικών χημικών αερίων και περιβάλλοντος υψηλής θερμοκρασίας.
Οι πρώτες ύλες καουτσούκ υπερφθοροαιθέρα είναι ακριβές και χρησιμοποιούνται συνήθως στην κατασκευή ημιαγωγών. Είναι ανθεκτικό στη διάβρωση πλάσματος, τη διάβρωση αερίου, τη διάβρωση οξέων και αλκαλίων, τη διάβρωση υψηλής θερμοκρασίας, τις υψηλές απαιτήσεις καθαριότητας για σφραγίδες από καουτσούκ, βοηθά στη διατήρηση της ακεραιότητας της στεγανοποίησης, μειώνει τους χρόνους συντήρησης και βελτιώνει την ασφάλεια και είναι η καλύτερη σφράγιση για την κατασκευή ημιαγωγών Υλικό.