Το σύστημα κενού ημιαγωγών είναι ένας από τον βασικό εξοπλισμό που χρησιμοποιείται για την κατασκευή συσκευών ημιαγωγών. Είναι ένα κλειστό σύστημα σε ένα εξαιρετικά καθαρό περιβάλλον χαμηλής πίεσης για το χειρισμό και την επεξεργασία υλικών και συσκευών ημιαγωγών.
Στα συστήματα κενού ημιαγωγών, χρησιμοποιούνται συχνά ελαστικά στεγανοποιητικά υψηλής απόδοσης λόγω των απαιτήσεων για υψηλή καθαριότητα και χαμηλούς ρυθμούς διαρροής. Ακολουθούν ορισμένοι συνήθεις τύποι σφραγίδων από καουτσούκ:
Σφραγίδες Viton (FPM): Το Viton είναι ένα χημικό και ανθεκτικό σε υψηλές θερμοκρασίες φθοροελαστομερές που χρησιμοποιείται ευρέως σε συστήματα κενού. Έχει εξαιρετική αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες, αντοχή στη διάβρωση και χαμηλή διαπερατότητα αερίων, καθιστώντας το κατάλληλο για απαιτήσεις στεγανοποίησης που αντέχουν περιβάλλοντα υψηλού κενού και υψηλής θερμοκρασίας.
Σφραγίδες νιτριλίου (NBR): Το νιτρίλιο είναι ένα συνθετικό καουτσούκ γενικής χρήσης με καλή αντοχή στο λάδι και στην τριβή. Σε συστήματα κενού ημιαγωγών, οι σφραγίδες νιτριλίου χρησιμοποιούνται κυρίως σε ορισμένες μη υψηλές θερμοκρασίες, μη διαβρωτικές εφαρμογές, όπως οι συνδέσεις αγωγών χαμηλού κενού και αερίου.
Σφραγίδα σιλικόνης (VMQ): Η σιλικόνη είναι ένα ελαστικό σιλικόνης ανθεκτικό σε υψηλές θερμοκρασίες με καλή ελαστικότητα και αντοχή στη θερμότητα. Χρησιμοποιείται συχνά σε συστήματα κενού ημιαγωγών για να αντέχει τις απαιτήσεις σφράγισης σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας, όπως θερμική επεξεργασία, ανόπτηση και καθαρισμός με ατμό υψηλής θερμοκρασίας.
Σφραγίδα EPDM: Το EPDM είναι ένα καουτσούκ αιθυλενίου προπυλενίου με καλή αντοχή στην οξείδωση, αντοχή σε οξύ και αλκάλια. Σε συστήματα κενού ημιαγωγών, οι σφραγίδες EPDM χρησιμοποιούνται συχνά σε μη υψηλές θερμοκρασίες, μη διαβρωτικές εφαρμογές όπως χαμηλού κενού και αγωγούς μεταφοράς αερίου.
Αυτές οι ελαστικές σφραγίδες έχουν διαφορετικά χαρακτηριστικά και εύρος εφαρμογής. Κατά την επιλογή μιας κατάλληλης στεγανοποίησης, πρέπει να λαμβάνονται υπόψη παράγοντες όπως οι συνθήκες λειτουργίας του συστήματος, το εύρος θερμοκρασίας, οι ιδιότητες μέσου και οι απαιτήσεις πίεσης. Επιπλέον, για να εξασφαλιστεί η απόδοση σφράγισης, η διαδικασία κατασκευής και εγκατάστασης των σφραγίδων πρέπει επίσης να ακολουθεί αυστηρές απαιτήσεις διαδικασίας.
Στα συστήματα κενού ημιαγωγών, εκτός από τα ελαστικά στεγανοποιητικά, χρησιμοποιούνται συχνά ελαστικά παρεμβύσματα για την επίτευξη αποτελεσματικής στεγανοποίησης. Ακολουθούν ορισμένοι συνήθεις τύποι σφραγίδων από καουτσούκ:
Φλάντζα δακτυλίου O: Ο δακτύλιος O είναι ένα ελαστικό παρέμβυσμα με κυκλική διατομή και χρησιμοποιείται ευρέως σε συστήματα κενού ημιαγωγών. Έχει καλή απόδοση στεγανοποίησης και ικανότητα παραμόρφωσης συμπίεσης και μπορεί να προσαρμοστεί σε διαφορετικές απαιτήσεις στεγανοποίησης, όπως συνδέσεις σωλήνων, βαλβίδες, ενώσεις κ.λπ.
Επίπεδη σφράγιση: Η επίπεδη σφράγιση είναι μια επίπεδη ελαστική σφράγιση που χρησιμοποιείται συνήθως για συνδέσεις φλάντζας σε συστήματα κενού ημιαγωγών. Επιτυγχάνει σφράγιση μέσω επαφής με την επιφάνεια της φλάντζας και είναι συνήθως κατασκευασμένο από ανθεκτικό σε χημικές ουσίες ελαστικό υλικό όπως Viton ή Σιλικόνη.
Φλάντζα σε σχήμα U: Το παρέμβυσμα σχήματος U είναι ένα ελαστικό παρέμβυσμα διατομής σχήματος U κατάλληλο για συγκεκριμένες ανάγκες στεγανοποίησης σε συστήματα κενού ημιαγωγών. Χρησιμοποιείται συχνά για τη σφράγιση εμβόλων, ράβδων εμβόλου, κυλίνδρων και άλλων εξαρτημάτων και έχει καλή απόδοση στεγανοποίησης και αντοχή στην παραμόρφωση συμπίεσης.
Παρέμβυσμα σχήματος V: Το παρέμβυσμα σε σχήμα V είναι ένα ελαστικό παρέμβυσμα διατομής σχήματος V που χρησιμοποιείται συνήθως για βαλβίδες και περιστρεφόμενες στεγανοποιήσεις άξονα σε συστήματα κενού ημιαγωγών. Επιτυγχάνει αποτελεσματική σφράγιση μέσω της επαφής με την επιφάνεια σφράγισης και έχει καλή αντοχή στη σφράγιση και στη φθορά.
Η επιλογή αυτών των ελαστικών σφραγίδων καθορίζεται με βάση τις συγκεκριμένες απαιτήσεις σφράγισης, τις συνθήκες εργασίας και τις ιδιότητες των μέσων. Ταυτόχρονα, η επιλογή υλικού της φλάντζας είναι επίσης πολύ σημαντική. Τα υλικά που χρησιμοποιούνται συνήθως περιλαμβάνουν Viton, Nitrile, Silicone, κ.λπ. Η συγκεκριμένη επιλογή θα πρέπει να λαμβάνει υπόψη παράγοντες όπως το εύρος θερμοκρασίας, η αντοχή στη χημική διάβρωση και ο ρυθμός διαρροής αερίου. Κατά την εγκατάσταση της φλάντζας, πρέπει να δίνεται προσοχή στο να διατηρείται η επιφάνεια στεγανοποίησης καθαρή και να διασφαλίζεται ότι η φλάντζα έχει τοποθετηθεί και πιεστεί σωστά για να έχετε ένα καλό αποτέλεσμα στεγανοποίησης.
Δημοφιλείς Ετικέτες: σφραγίδες συστήματος κενού ημιαγωγών, Κίνα κατασκευαστές, προμηθευτές, εργοστάσιο σφραγίδων συστήματος ημιαγωγών
